MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的新型传感器。与传统的传感器相比,它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时,在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。
随着家庭护理概念的日益普及使得小型化、低成本、便携式的医疗诊断设备逐步走进家庭,MEMS传感器也不断朝着家庭护理医疗仪器领域发展,这些领域也要求MEMS传感器件向小型化、低成本和高可靠性方向发展,以配合此类应用。
据IHSiSuppli公司预测,市场将从2000万美元左右的稳定基础开始起步,预计可佩戴电子产品与健康监控设备中的MEMS运动传感器营业收入今年将增至3100万美元,2014年上升33%至4130万美元。2015年将进一步增长47%至6080万美元。未来五年中,最大增幅将出现在2016 年,届时年度营业收入将跳增50%至9150万美元。届时该市场将是2011年2080万美元规模的四倍以上。
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