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中科院推出RFG系列射频电源与自动匹配器子所射频电源(RFGenerator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源，获得“/channels/nmn/20130130/1405056.html 0K 2013-01-30 中科院推出RFG系列射频电源与自动匹配器子所射频电源(RFGenerator)课题组从1984年开始研发电子管射频电源(13.56MHz)，1985年研制成功500W-10KW电子管射频电源，获得“/channels/nmn/20130130/1405008.html 0K 2013-01-30
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